超音波工業株式会社

山﨑虎雄が東京都港区に超音波研究所を創立。

超音波工業株式会社を設立。

大阪出張所を開設。

東京都立川市砂川町（現柏町）に砂川工場を新設。

名古屋出張所を開設。

大阪出張所を大阪営業所に改称。

砂川工場に本社移転（現本社）。

大阪営業所を大阪支店に改称。

名古屋出張所を名古屋営業所に改称。

超音波ワイヤボンダに対しISO9001：2000の認証取得。

全社に対しISO9001：2000の認証取得。

ISO9001：2008へ移行。 本社に対し環境経営システム「エコステージ」のエコステージ1（2006版）を認証取得。

ISO9001：2008へ移行。 : 本社に対し環境経営システム「エコステージ」のエコステージ1（2006版）を認証取得。

全社に対しエコステージ1（2006年版）を認証取得。

名古屋営業所を名古屋支店に改称。

エコステージ2（2006年版）へ移行。

エコステージ2（2015年版）へ移行。 ISO9001：2015へ移行。

エコステージ2（2015年版）へ移行。 : ISO9001：2015へ移行。

一つの振動子で複数の共振周波数を持つ2周波ボンディングヘッドが、第32回中小企業優秀新技術・新製品賞「奨励賞」を受賞。

中国（深圳）に立川超音波（深圳）有限公司を設立。

超音波ワイヤボンダ"REBO-Xシリーズ"を発売。

マレーシアにULTRASONIC ENGINEERING SDN.BHD.を設立。 本社敷地内に工場を新設。

マレーシアにULTRASONIC ENGINEERING SDN.BHD.を設立。 : 本社敷地内に工場を新設。