| 1963年 |
（株）東京放送の出資により、東京都港区赤坂に資本金500万円で（株）東京エレクトロン研究所を設立 |
| 1963年 |
拡散炉、リークディテクタ、IC製造機器の納入・販売を開始 |
| 1963年 |
1963年「半導体こそ産業界を変革する」という信念のもと、久保徳雄と小髙敏夫らの若者が、東京エレクトロン研究所を創業。東京都港区赤坂に資本金500万円で（株）東京エレクトロン研究所を設立。 |
| 1964年 |
米国サームコ社から拡散炉の輸入販売代理権を獲得し、販売を開始 |
| 1965年 |
米国フェアチャイルド社とICテスタの代理店契約 |
| 1966年 |
ICテスタの1号機を輸入販売開始 |
| 1967年 |
パネトロン（株）を設立し、日本初の輸入電子部品ストッキングディストリビュータとなる |
| 1967年 |
サンフランシスコ事務所を開設 |
| 1968年 |
米国サームコ社との合弁会社テル・サームコ（株）をTBS会館内に設立 |
| 1968年 |
テル・サームコ（株）で拡散炉の国内生産を開始 |
| 1968年 |
大阪支社を開設 |
| 1969年 |
横浜事業所を開設 |
| 1969年 |
テルトロン（株）を設立し、カーステレオOEM輸出販売を開始 |
| 1970年 |
（株）メック・エンジニアリングを設立 |
| 1970年 |
横浜にテル・サームコ（株）社屋を移転し、拡散炉完全国産化へ |
| 1970年 |
米国コビルト社と代理店契約 |
| 1971年 |
（株）テル・エンジニアリングを設立 |
| 1971年 |
（株）メック・エンジニアリングでラインプリンタの販売を開始 |
| 1972年 |
東京プロセス開発（株）を設立、分析機器（公害防止機器）の輸入販売を開始 |
| 1972年 |
パネトロン（株）がインテル社の代理店としてマイクロプロセッサの輸入販売を開始 |
| 1972年 |
TEL America, Inc.を設立 |
| 1973年 |
米国コンピュータビジョン社と代理店契約を締結し、CAD/CAMシステムの輸入開始 |
| 1973年 |
山梨事業所を開設 |
| 1973年 |
ヨーロッパ事務所を設立 |
| 1974年 |
ICテスタ拡販でフェアチャイルド社より表彰を受ける |
| 1975年 |
民生機器の生産と輸出から撤退 |
| 1976年 |
テル・サームコ社が世界初の高圧酸化装置を開発 |
| 1977年 |
米国KLA社と代理店契約 |
| 1977年 |
第1回セミコンジャパン開催・出展 |
| 1978年 |
（株）東京エレクトロン研究所」から「東京エレクトロン（株）」へ商号を変更 |
| 1978年 |
日本初のICテストセンター開設 |
| 1978年 |
米国バリアン・アソシエイツ社と代理店契約 |
| 1980年 |
東京証券取引所市場第二部に上場 |
| 1980年 |
米国AMD社と代理店契約 |
| 1980年 |
野田経済研究所「優秀経営賞」を受賞 |
| 1981年 |
テル・ジェンラッド（株）を設立、インサーキットボードテスタを国産化 |
| 1982年 |
山梨事業所内に総合研究所を設立 |
| 1982年 |
テル・バリアン（株）を設立、イオン注入装置を国産化 |
| 1982年 |
テル・メック（株）でクリーントラックを開発開始 |
| 1983年 |
米国ラム・リサーチ社との合弁会社テル・ラム（株）を設立 |
| 1983年 |
テル・サームコ（株）を横浜より神奈川県津久井郡城山町に社屋を移転 |
| 1983年 |
日経・優良企業ランキング4位 |
| 1983年 |
九州事業所を熊本県に開設 |
| 1984年 |
東京証券取引所市場第一部に指定替え |
| 1984年 |
日経・優れた会社ランキング（PRISM）4位 |
| 1985年 |
半導体商社として初の横浜VLSIデザインセンターを開設 |
| 1985年 |
東北事業所を開設 |
| 1985年 |
日経・優良企業ランキング4位 |
| 1986年 |
山梨県韮崎市穂坂工業団地内に総合研究所が完成 |
| 1986年 |
テル・サームコ製縦型拡散炉1号機出荷 |
| 1986年 |
テル・ラム（株）を100%子会社化し、翌年、テル山梨（株）に社名変更 |
| 1986年 |
半導体製造装置の輸出を開始 |
| 1986年 |
テル東北エレクトロニクス（株）を設立 |
| 1986年 |
1986年より海外への輸出を開始し、 |
| 1987年 |
テル九州（株）を設立 |
| 1987年 |
府中事業所を開設 |
| 1988年 |
テル・サームコ（株）を100%子会社化し、テル相模（株）に社名変更 |
| 1989年 |
半導体製造装置メーカー売上高世界ランキング1位 |
| 1989年 |
バリアン・テル（株）を米国カリフォルニア州に設立 |
| 1989年 |
1989年には半導体製造装置メーカー売上高世界ランキング1位を獲得しました。 |
| 1990年 |
ディスプレイ製造装置市場へ本格参入 |
| 1990年 |
東京エレクトロンFE（株）を設立 |
| 1990年 |
東京エレクトロンデバイス（株）を設立 |
| 1991年 |
半導体製造装置メーカー売上高世界ランキング1位（3年連続） |
| 1991年 |
東京エレクトロン札幌（株）を設立 |
| 1991年 |
東京エレクトロン佐賀（株）を設立 |
| 1991年 |
売上高世界ランキング3年連続1位 |
| 1992年 |
テル・エンジニアリング（株）を設立 |
| 1993年 |
Tokyo Electron FE Korea Ltd.を設立 |
| 1993年 |
ディスプレイ製造装置コータ/デベロッパの販売を開始 |
| 1994年 |
Tokyo Electron Europe Ltd.を設立 |
| 1994年 |
TEL America, Inc.からTokyo Electron America, Inc.へ社名変更 |
| 1994年 |
枚葉CVD装置初号機を出荷 |
| 1994年 |
グローバリゼーション元年 |
| 1995年 |
企業スローガン「Customer Satisfaction」を制定（当時） |
| 1995年 |
初の海外開発・製造拠点であるTokyo Electron Oregon, Inc.を設立 |
| 1995年 |
東京エレクトロン九州（株）大津事業所を開設 |
| 1995年 |
Tokyo Electron FE Korea Ltd.の全株式を取得し、Tokyo Electron Korea Ltd.を設立 |
| 1996年 |
Tokyo Electron Taiwan Ltd. を設立 |
| 2015年 |
2015年、グローバル水準の収益力を目指した中期経営計画と財務モデルを策定し、新たな一歩を踏み出しました。 |
| 2016年 |
東京エレクトロン宮城 (株) 、エッチング装置 プロセスチャンバー5,000台出荷を達成 |
| 2016年 |
産学官連携功労者表彰で内閣総理大臣賞受賞 |
| 2017年 |
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ (株) を設立 （グループ会社の合併による） |
| 2017年 |
Forbes Japan「日本を動かす経営者ベスト100」に選定 |
| 2018年 |
トムソン・ロイター （現リフィニティブ） 社による「Top 100 Global Tech Leaders」に選出 |
| 2018年 |
Tokyo Electron （Malaysia） Sdn. Bhd.を設立 |
| 2019年 |
米国BRIDGとパートナーシップを提携 |
| 2020年 |
TEL Manufacturing and Engineering of America, Inc. を設立 （グループ会社の合併による） |
| 2020年 |
東 哲郎 （元会長・社長） が旭日重光章を受章 |
| 2021年 |
「第2回ROESGランキング (2020年度版)」にて国内首位を獲得 |
| 2021年 |
TOPIX Core30の構成銘柄に選定 |
| 2021年 |
環境への取り組み強化に向けたサプライチェーンイニシアティブ「E-COMPASS」立ち上げ |
| 2022年 |
「コーポレートガバナンス・オブ・ザ・イヤー®2021」で「Grand Prize Company (大賞)」を受賞 |
| 2022年 |
東京証券取引所プライム市場に指定替え |
| 2022年 |
ベストIR企業ランキングにて「Most Honored Company」に7年連続選定 |
| 2022年 |
新ビジョン「半導体の技術革新に貢献する夢と活力のある会社」とコーポレートメッセージ「Technology Enabling Life」を発表 |
| 2022年 |
高い収益性を達成・維持している企業を表彰する「ポーター賞」を受賞 |
| 2023年 |
クラリベイト社が選出する「Clarivate Top 100 グローバル・イノベーター」を2年連続受賞 |
| 2023年 |
TELは「健康経営優良法人」上位500社に5年連続認定 |
| 2023年 |
Institutional InvestorベストIR企業ランキングにて6項目で１位となる「All-Star」に初選定 |
| 2023年 |
日米大学間パートナーシップ（UPWARDS）に参画 |
| 2023年 |
超高速メモリチャネルホールエッチング技術（地球温暖化係数84%減）を開発 |
| 2023年 |
Tokyo Electron Philippines Semiconductor Support Inc.を設立 |
| 2023年 |
「FTSE Blossom Japan Index」および「MSCIジャパンESGセレクト・リーダーズ指数」に7年連続選定 |
| 2023年 |
Forbes JAPAN『新しい「いい会社」100』ステークホルダー資本主義ランキングにて第１位を獲得 |
| 2023年 |
最先端デバイス3次元実装の技術革新に貢献するレーザ剥離技術を開発 |
| 2023年 |
社会的責任投資指標「DJSI Asia Pacific」の構成銘柄に8年連続選定 |
| 2023-11-11 |
2023年11月11日に創立60周年を迎える |
| 2024年 |
クラリベイト社が選出する「Clarivate Top 100 グローバル・イノベーター」を3年連続受賞 |
| 2024年 |
TELは「健康経営優良法人」上位500社に6年連続認定 |
| 2024年 |
Institutional InvestorベストIR企業ランキングにて「Most Honored Company」に9年連続選定 |
| 2024年 |
「FTSE Blossom Japan Index」および「MSCIジャパンESGセレクト・リーダーズ指数」に8年連続選定 |
| 2024年 |
「トビタテ！留学JAPAN 新・日本代表プログラム」への支援に対し、紺綺褒章を受章 |
| 2024年 |
SEMI SCC-EC(Energy Collaborative)に参画 |
| 2024年 |
「PRIDE指標2024」ゴールド認定を取得 |
| 2024年 |
社会的責任投資指標「DJSI Asia Pacific」の構成銘柄に9年連続選定 |
| 2025年 |
クラリベイト社が選出する「Clarivate Top 100 グローバル・イノベーター」を4年連続受賞 |
| 2025年 |
「FTSE Blossom Japan Index」および「MSCIジャパンESGセレクト・リーダーズ指数」に9年連続選定 |
| 2025年 |
「PRIDE指標2025」ゴールド認定を2年連続で取得 |
| 2025年 |
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ東北事業所 RBA監査でプラチナ・ステータスを取得 |
