| 1952年08月 |
各種真空装置の輸入販売を目的として、日本真空技術株式会社（資本金6百万円）を創業 |
| 1955年04月 |
大森工場を新設し、国産装置の製造に着手 |
| 1956年11月 |
株式会社東洋精機真空研究所を合併し、尼崎工場として真空化学装置及び真空ポンプ等の規格品の製造に着手 |
| 1959年04月 |
本社及び大森工場を横浜市に移転 |
| 1961年07月 |
真空技術の基本を応用し、真空冶金事業を開始 |
| 1962年09月 |
真空材料株式会社（商号変更 アルバックマテリアル株式会社）を設立、耐火材料の販売を開始 |
| 1962年10月 |
熱分析機器の専門メーカーとして真空理工株式会社（現アドバンス理工株式会社）を設立 |
| 1963年10月 |
新生産業株式会社に吸収合併されると共に、同日社名を日本真空技術株式会社と改称し、旧日本真空技術株式会社の事業内容を継続 |
| 1964年01月 |
外国事業部リライアンス部を分離し、米国 Reliance Electric and Engineering Co. と共同出資で日本リライアンス株式会社を設立 |
| 1964年07月 |
香港万豊有限公司と共同出資で合弁会社 Hong Kong ULVAC Co., Ltd. を設立 |
| 1966年04月 |
真空冶金事業部を分離し、真空冶金株式会社を設立 |
| 1968年05月 |
本社及び横浜工場を茅ヶ崎市に移転 |
| 1970年07月 |
専売特約店の三和アルバック販売株式会社（商号変更 アルバック東日本株式会社）を設立 |
| 1971年07月 |
小型真空ポンプの専門メーカーとして真空機工株式会社（現アルバック機工株式会社）を設立 |
| 1972年07月 |
超材料研究所を千葉県に新設 |
| 1975年12月 |
対米輸出の拠点として北米に現地法人 ULVAC North America Corp.（現ULVAC Technologies, Inc.）を設立 |
| 1977年01月 |
九州地区の営業活動の拡大のために九州アルバック株式会社（商号変更 アルバック九州株式会社）を設立 |
| 1979年01月 |
サービス事業部を分離し、アルバックサービス株式会社を設立 : SI事業部を分離し、アルバック成膜株式会社を設立 |
| 1981年10月 |
米国 Helix Technology Corp. と共同出資でアルバック・クライオ株式会社を設立 |
| 1982年01月 |
台湾台北市に ULVAC TAIWAN Co., Ltd.（現ULVAC TAIWAN INC.）を設立 |
| 1982年11月 |
米国 The Perkin Elmer Corp. と共同出資でアルバック・ファイ株式会社を設立 |
| 1982年12月 |
茨城県筑波学園都市（現つくば市）市内に筑波超材料研究所を設立 |
| 1983年02月 |
中国北京市に北京事務所を開設 |
| 1985年03月 |
核融合臨界プラズマ実験装置「JT-60」の真空排気系を納入 |
| 1985年04月 |
関西の拠点工場としてアルバック精機株式会社を設立 |
| 1987年01月 |
大型装置の生産体制強化のため、青森県八戸市に東北真空技術株式会社（商号変更 アルバック東北株式会社）を設立 |
| 1987年02月 |
欧州地区のサービス体制強化のため、西独に ULVAC GmbH を設立 |
| 1987年05月 |
グループ会社支援のため、株式会社アルバック・コーポレートセンターを設立 |
| 1987年09月 |
英文社名を ULVAC Japan, Ltd. と変更 |
| 1988年10月 |
真空ポンプの量産体制確立のため、鹿児島に九州真空技術株式会社を設立 |
| 1990年05月 |
半導体製造装置の生産体制強化のため静岡県裾野市に富士裾野工場を新設 |
| 1991年12月 |
九州真空技術株式会社がアルバック精機株式会社を合併し、アルバック精機株式会社に商号変更 |
| 1992年04月 |
資本金12億10百万円より38億30百万円に増資 |
| 1994年10月 |
アルバックサービス株式会社がアルバックマテリアル株式会社を合併し、アルバックテクノ株式会社に商号変更 |
| 1995年05月 |
韓国ソウル市に、ULVAC KOREA, Ltd. を設立 |
| 1995年09月 |
中国に寧波中策動力機電集団有限公司と合弁で寧波愛発科真空技術有限公司を設立 |
| 1996年11月 |
真空装置の生産能力拡充のため、東北真空技術株式会社、アルバック九州株式会社鹿児島事業所にクリーン工場を増設 |
| 1998年01月 |
シンガポールCSセンター、台湾新竹R&Dセンターを開設し、アジアのネットワークを拡大 |
| 2000年04月 |
台北五股サービスセンターを開設 |
| 2000年08月 |
ULVAC KOREA, Ltd. に生産工場として平澤工場を設置 |
| 2001年05月 |
寧波愛発科真空技術有限公司に新工場を設置 |
| 2001年07月 |
株式会社アルバック（英文社名 ULVAC, Inc.）に商号変更 |
| 2001年11月 |
カスタマーサポート強化のため ULVAC TAIWAN INC. 桃園 CIP 工場を設置 |
| 2002年01月 |
カスタマーサポート体制の充実のため ULVAC SINGAPORE PTE LTD を設立 |
| 2002年07月 |
アルバック東日本株式会社が高山アルバック株式会社を合併し、アルバック イーエス株式会社（現アルバック販売株式会社）に商号変更 |
| 2002年12月 |
米国 Physical Electronics USA, Inc. が保有するアルバック・ファイ株式会社株式（50％）を取得し、100％子会社化 |
| 2003年03月 |
米国 RELIANCE ELECTRIC COMPANY より日本リライアンス株式会社株式（31％）を取得し、持分を81％に引き上げ |
| 2003年05月 |
アルバック東北株式会社、アルバックテクノ株式会社、UMAT 株式会社による機械加工、表面処理、精密洗浄の一貫工場を東北に設置 |
| 2003年07月 |
中国における本格的生産工場と CS ソリューション工場として愛発科真空技術（蘇州）有限公司を設立 |
| 2003年08月 |
工業用インクジェット装置を製造・販売している Litrex Corporation の株式50％を取得 |
| 2004年04月 |
東京証券取引所市場第1部に株式を上場 : 資本金38億50百万円より81億円に増資 |
| 2004年05月 |
81億円より89億50百万円に増資 |
| 2004年07月 |
韓国に ULVAC KOREA, Ltd. とアルバック東北株式会社が共同出資で大型基板真空用部品の製造を目的とした Ulvac Korea Precision, Ltd. を設立 : 韓国に ULVAC KOREA, Ltd. と真空冶金株式会社が共同出資で成膜装置用部品の表面処理を目的とした Pure Surface Technology, Ltd. を設立 |
| 2004年08月 |
中国に日本リライアンス株式会社、啓電実業股份有限公司と共同出資で制御盤及び自動制御駆動装置の製造、販売を目的とした愛発科啓電科技（上海）有限公司を設立 |
| 2005年01月 |
中国にアルバック機工株式会社と江蘇宝驪集団公司と共同出資で真空ポンプ用部品の製造、販売を目的とした愛発科天馬電機（靖江）有限公司を設立 : 中国に沈陽中北真空技術有限公司と共同出資で真空炉の製造、販売を目的とした愛発科中北真空（沈陽）有限公司を設立 : 成都東方愛発科真空技術有限公司を子会社化し、愛発科東方真空（成都）有限公司に商号変更 |
| 2005年04月 |
真空冶金株式会社が UMAT株式会社を合併し、アルバックマテリアル株式会社に商号変更 : フラットパネルディスプレイ事業拡大のため、富士通ヴィエルエスアイ株式会社より設備事業譲受 |
| 2005年06月 |
ULVAC KOREA, Ltd. に生産拡大のため玄谷工場を増設 |
