| 2010年12月 |
ウエーハ再生事業を主たる事業として株式会社RS Technologiesを設立 |
| 2010年12月 |
以晶圆再生事业为主要事业设立株式会社RS Technologies |
| 2011年01月 |
三本木工場において操業開始 |
| 2011年01月 |
三本木工厂开始投产 |
| 2011年11月 |
三本木工場がUKASより「ISO9001:2008」（品質マネジメントシステム）認証取得 |
| 2011年11月 |
三本木工场获得UKAS的“ISO9001:2008”（质量管理体系）认证 |
| 2013年10月 |
三本木工場においてソーラー事業を開始 |
| 2013年10月 |
三本木工厂开始太阳能事业 |
| 2014年02月 |
台湾に再生ウェーハ製造子会社として艾爾斯半導體股份有限公司（現・連結子会社）を設立 |
| 2014年02月 |
在中国台湾设立再生晶圆制造子公司艾尔斯半导体股份有限公司（现为联合子公司） |
| 2015年03月 |
東京証券取引所マザーズに株式を上場 |
| 2015年03月 |
在东京证券交易所MOTHERS市场上市 |
| 2015年06月 |
最先端設備を導入した三本木工場・第8工場が竣工 |
| 2015年06月 |
引入最先进设备的三本木工厂第8工厂竣工 |
| 2015年12月 |
艾爾斯半導體股份有限公司（現・連結子会社）の台南工場が竣工 |
| 2015年12月 |
艾尔斯半导体股份有限公司（现为联合子公司）的台南工厂竣工 |
| 2016年09月 |
東京証券取引所市場第一部（東証一部）へ市場変更 |
| 2016年09月 |
市场变更为东京证券交易所市场第一部（东证一部） |
| 2017年12月 |
有研科技集団有限公司（GRINM）及び福建倉元投資有限公司と三社間で合弁契約を締結 |
| 2017年12月 |
与有研科技集团有限公司（GRINM）及福建仓元投资有限公司签署三公司合资合同 |
| 2018年01月 |
北京有研RS半導体科技有限公司（BGRS）を設立、中国プライムウェーハ製造メーカーである有研半導体材料有限公司（GRITEK）を連結子会社化 |
| 2018年01月 |
设立北京有研RS半导体科技有限公司（BGRS），中国的优质晶圆制造商有研半导体材料有限公司（GRITEK）成为联合子公司 |
| 2018年05月 |
株式会社ユニオンエレクトロニクスソリューションの100％株式を取得（日立パワーデバイスの特約店） |
| 2018年05月 |
收购株式会社Union Electronics Solutions（日立功率半导体的特约店）100%的股份 |
| 2018年08月 |
山東有研半導体材料有限公司（GRITEKの連結子会社、山東GRITEK）を設立 |
| 2018年08月 |
设立山东有研半导体材料有限公司（GRITEK的联合子公司，山东GRITEK） |
| 2019年01月 |
株式会社DG Technologies（DG）の100%株式を取得 |
| 2019年01月 |
收购株式会社DG Technologies（DG）100%的股份 |
| 2019年12月 |
GRINM、徳州滙達半導体股権投資基金パートナー企業及び山東省徳州市政府と四者間で合弁契約を締結 |
| 2019年12月 |
与GRINM、德州汇达半导体股权投资基金伙伴企业及山东省德州市政府签署四方合资合同 |
| 2020年02月 |
上海悠年半導体有限公司（上海ユニオン）を設立 |
| 2020年02月 |
设立上海悠年半导体有限公司（上海悠年） |
| 2020年03月 |
山東有研RS半導体材料有限公司（SGRS）並びに有研艾唯特（北京）科技有限公司（北京IVT）を設立 |
| 2020年03月 |
设立山东有研RS半导体材料有限公司（SGRS）及有研艾唯特（北京）科技有限公司（北京IVT） |
| 2020年10月 |
中国におけるプライムウェーハの生産拠点となる、山東GRITEKの新工場が竣工、生産開始 |
| 2020年10月 |
中国优质晶圆生产据点山东GRITEK的新工厂竣工并投产 |
| 2021年06月 |
GRITEK上場準備に伴い、GRITEKの組織形態を株式会社へ変更するとともに社名を変更（新社名：有研半導体硅材料股份公司、英語表記は不変） |
| 2021年06月 |
随着GRITEK准备上市，GRITEK的组织形态变更为股份制并变更公司名称（新的公司名称：有研半导体硅材料股份公司，英文名不变） |
| 2022年03月 |
監査役会設置会社から監査等委員会設置会社へ移行 |
| 2022年03月 |
从设置监事会的公司变更为设置监事等委员会的公司 |
| 2022年04月 |
東証一部よりプライム市場へ移行 : 指名報酬委員会（任意）を設置 |
| 2022年04月 |
从东证一部变更为优质市场 : 设置提名薪酬委员会（任意） |
| 2022年06月 |
DGの第2生産拠点として、栗原工場（宮城県栗原市）が竣工 |
| 2022年06月 |
作为DG第2生产据点的栗原工厂（宫城县栗原市）竣工 |
| 2022年11月 |
GRITEK（有研半導体硅材料股份公司) が上海証券取引所 : 科創板市場へ上場 |
| 2022年11月 |
GRITEK（有研半导体硅材料股份公司）在上海证券交易所上市 |
| 2023年10月 |
株式会社LEシステムを設立 |
| 2023年10月 |
艾唯特（徳州）バルブ科技有限公司（現・連結子会社）を設立 |
| 2023年10月 |
株式会社LE System100%的股份 |
| 2023年10月 |
设立艾唯特（德州）阀门科技有限公司 |
| 2024年11月 |
中国における子会社（投資性公司）艾斯科技（厦門）有限公司を設立 |
| 2024年11月 |
设立艾斯科技（厦门）有限公司 |
| 2024年12月 |
艾索精密部件（惠州）有限公司（現・連結子会社）の株式全てを取得し連結子会社化 |
| 2024年12月 |
收购艾索精密部件（惠州）有限公司100%的股份 |
| 2025年06月 |
艾斯能源（山東）有限公司を設立 |
| 2025年06月 |
设立艾斯能源（山东）有限公司 |
