半導体等電子部品製造装置の製造及び販売 CVD装置・ドライエッチング装置・ドライ洗浄装置等 薄膜形成分野 ・プラズマCVD装置 ・液体ソースCVD®装置 ・ALD装置 ・微細加工分野 ・反応性イオンエッチング装置 ・ICPエッチング装置 ・シリコン深掘り装置 ・XeF2エッチing装置 洗浄・表面処理分野 ・Aqua Plasma®クリーナー ・プラズマクリーナー ・UVオゾンクリーナー
1,663,680,000 円 (16 億円)
サムコグローバルサービス株式会社
samco-ucp AG
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