半導体・FPD関連装置等 自動化装置の開発設計・製造・販売 半導体関連装置 当社の売上の半分以上を占める主力事業です。低発塵で高スループット、高い信頼性をもつシステムで、お客様の半導体製造ラインを支えます。 FPD関連装置 半導体関連装置で培った確かな技術により高スループット、高信頼性のシステムを実現します。 分析装置 半導体製造工程における金属汚染管理は非常に重要であり、Siウエハ中の金属不純物をICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析法）で自動分析します。 ライフサイエンス関連装置 創薬・再生医療に必要な細胞培養操作において、インキュベーター（細胞培養装置）やソフトウエアパッケージによる効率化、自動化を実現します。 モータ制御機器 小型で信頼性が高く、高機能な製品です。当社の半導体・FPD関連装置は当社の制御製品が支えています。