| 1975年03月 |
Established in Suginami-ku, Tokyo, with capital of 5 million yen. Ikio Okazaki was appointed president. |
| 1975-03-04 |
東京都杉並区に資本金500万円で設立。代表取締役社長 岡﨑 伊喜夫 |
| 1975年06月 |
武蔵野市中町に拡大移転し、半導体関連装置の開発製造開始 |
| 1975年06月 |
Expanded and moved the head office to Nakamachi, Musashino city, and began development and manufacturing of semiconductor-related equipment. |
| 1977年06月 |
八王子市千人町に拡大移転し、資本金3,000万円に増資 |
| 1977年06月 |
Moved the head office to Sennincho, Hachioji city and increased capital to 30 million yen. |
| 1979年06月 |
資本金4,500万円に増資 |
| 1979年06月 |
Increased capital to 45 million yen. |
| 1981年11月 |
東京中小企業投資育成(株)より転換社債として融資を受ける |
| 1981年11月 |
Received a loan as a convertible bond from Tokyo Small and Medium Business Investment & Consultation Co., Ltd. |
| 1983年01月 |
八王子市元横山町に本社工場を竣工 |
| 1983年01月 |
Completed construction of the head office and factory in Motoyokoyama, Hachioji city. |
| 1984年08月 |
大阪市西中島に大阪営業事務所を開設 |
| 1984年08月 |
Opened Osaka sales branch in Nshinakajima, Osaka city. |
| 1985年11月 |
社債の転換を含め、資本金8,500万円に増資 |
| 1985年11月 |
Increased capital to 85 million yen, including conversion of bonds. |
| 1990年04月 |
本社ショールーム完成 |
| 1990年04月 |
Completion of a showroom at the head office. |
| 1992年12月 |
代表取締役社長に本目精吾 就任 |
| 1992年12月 |
Seigo Honme was appointed president. |
| 2002年06月 |
大阪営業所(現 西日本営業所)を大阪府池田市に移転 |
| 2002年06月 |
Relocated Osaka sales branch (currently west Japan sales branch) to Ikeda city, Osaka. |
| 2003年10月 |
資本金を1億7,000万円に増資 |
| 2003年10月 |
Increased capital to 170 million yen. |
| 2003年11月 |
八王子市左入町にナノテクシステムセンター完成 |
| 2008年10月 |
資本金を2億7,000万円に増資 |
| 2008年10月 |
Increased capital to 270 million yen. |
| 2009年12月 |
代表取締役社長兼COOに牧内昌幸 就任 |
| 2009年12月 |
代表取締役会長兼CEOに本目精吾 就任 |
| 2009年12月 |
Yoshiyuki Makiuchi was appointed president and COO, Seigo Honme was appointed chairman and CEO. |
| 2011年12月 |
代表取締役社長兼COOに岡林徹行 就任 |
| 2011年12月 |
Tetsuyuki Okabayashi was appointed president and COO. |
| 2013年12月 |
代表取締役社長に岡林徹行 就任 |
| 2013年12月 |
Tetsuyuki Okabayashi was appointed president. |
| 2018年11月 |
中国深圳市にElionix（China）を100％出資子会社として設立 |
| 2018年11月 |
Established ELIONIX (China) in Shenzhen, China as a wholly-owned subsidiary. |
| 2018年12月 |
代表取締役会長に岡林徹行 就任 |
| 2018年12月 |
代表取締役社長に七野 実 就任 |
| 2018年12月 |
Tetsuyuki Okabayashi was appointed chairman, Minoru Shichino was appointed president. |
| 2023年12月 |
代表取締役に菊地洋介 就任 |
| 2023年12月 |
Yosuke Kikuchi was appointed president. |
| 2024年01月 |
西日本営業所を大阪市淀川区西中島に移転 |
| 2024年01月 |
Relocated West Japan sales branch to Nishinakajima, Osaka. |
