SpeedFam Clean System Co., Ltd.
会社名
Group
親会社
子会社
得意先
仕入先
業務提携
銀行等
株主等
20 件
| 日付 | 概要 |
|---|
| 1982年03月 |
スピードファム株式会社の洗浄機部門として、洗浄装置の製造販売開始 |
| 1984年01月 |
洗浄装置の製造販売会社として、スピードファムクリーンシステム株式会社設立 |
| 1984年12月 |
磁気ディスク用スクラバ付洗浄装置の製造販売開始 |
| 1985年08月 |
スピードファム株式会社の洗浄事業部を、スピードファムクリーンシステム株式会社に統合 |
| 1986年03月 |
光ディスク洗浄装置の製造販売開始 |
| 1986年12月 |
液晶基板用板硝子水平枚葉洗浄装置の製造販売開始 |
| 1987年08月 |
フロン代替乾燥のための、温純水乾燥システムの開発に成功、 その応用実験開始 |
| 1988年09月 |
温純水乾燥システム搭載洗浄装置の量産開始 |
| 1991年01月 |
山形県天童市から、寒河江市中央工業団地に山形工場を移転、新設 |
| 1997年03月 |
山形工場敷地内に、洗浄プロセス開発のためのR＆Dセンターを開設 |
| 1999年10月 |
モジュラー型流水洗浄装置の量産開始 |
| 2002年01月 |
PDP基板、TFT基板、大型サイズ用水平洗浄装置の製品化 |
| 2003年01月 |
超音波併用両面同時スクラブ洗浄装置（DSS-320）の製品化 |
| 2003年11月 |
NEO乾燥のインテグレート化 |
| 2004年02月 |
大型マスク用コーティング装置の製品化 |
| 2004年05月 |
小径（0.85″）ディスク用スクラブ洗浄装置の製品化 |
| 2006年02月 |
山形工場の敷地内に組立工場を増設 |
| 2006年05月 |
資本金を8,800万円に増資 |
| 2017年02月 |
神奈川県綾瀬市大上の新社屋に本社移転 |
| 2020年06月 |
スピン枚葉洗浄装置の製造開始 |
2026-07-15 07:51 (Model: ggml-org/gpt-oss-20b )
