SpeedFam Clean System Co., Ltd.
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20 entries
| Date | Description |
|---|
| 1982-03 |
スピードファム株式会社の洗浄機部門として、洗浄装置の製造販売開始 |
| 1984-01 |
洗浄装置の製造販売会社として、スピードファムクリーンシステム株式会社設立 |
| 1984-12 |
磁気ディスク用スクラバ付洗浄装置の製造販売開始 |
| 1985-08 |
スピードファム株式会社の洗浄事業部を、スピードファムクリーンシステム株式会社に統合 |
| 1986-03 |
光ディスク洗浄装置の製造販売開始 |
| 1986-12 |
液晶基板用板硝子水平枚葉洗浄装置の製造販売開始 |
| 1987-08 |
フロン代替乾燥のための、温純水乾燥システムの開発に成功、 その応用実験開始 |
| 1988-09 |
温純水乾燥システム搭載洗浄装置の量産開始 |
| 1991-01 |
山形県天童市から、寒河江市中央工業団地に山形工場を移転、新設 |
| 1997-03 |
山形工場敷地内に、洗浄プロセス開発のためのR＆Dセンターを開設 |
| 1999-10 |
モジュラー型流水洗浄装置の量産開始 |
| 2002-01 |
PDP基板、TFT基板、大型サイズ用水平洗浄装置の製品化 |
| 2003-01 |
超音波併用両面同時スクラブ洗浄装置（DSS-320）の製品化 |
| 2003-11 |
NEO乾燥のインテグレート化 |
| 2004-02 |
大型マスク用コーティング装置の製品化 |
| 2004-05 |
小径（0.85″）ディスク用スクラブ洗浄装置の製品化 |
| 2006-02 |
山形工場の敷地内に組立工場を増設 |
| 2006-05 |
資本金を8,800万円に増資 |
| 2017-02 |
神奈川県綾瀬市大上の新社屋に本社移転 |
| 2020-06 |
スピン枚葉洗浄装置の製造開始 |
2026-09-21 18:15 (Model: ggml-org/gpt-oss-20b )
