| 1963年 |
（株）東京放送の出資により、東京都港区赤坂に資本金500万円で（株）東京エレクトロン研究所を設立。拡散炉、リークディテクタ、IC製造機器の納入・販売を開始 |
| 1964年 |
米国サームコ社から拡散炉の輸入販売代理権を獲得し、販売を開始 |
| 1965年 |
米国フェアチャイルド社とICテスタの代理店契約 |
| 1966年 |
ICテスタの1号機を輸入販売開始 |
| 1967年 |
パネトロン（株）を設立し、日本初の輸入電子部品ストッキングディストリビュータとなる。サンフランシスコ事務所を開設 |
| 1968年 |
米国サームコ社との合弁会社テル・サームコ（株）を設立し、拡散炉の国内生産を開始。大阪支社を開設 |
| 1969年 |
横浜事業所を開設。テルトロン（株）を設立し、カーステレオOEM輸出販売を開始 |
| 1970年 |
（株）メック・エンジニアリングを設立。横浜にテル・サームコ（株）社屋を移転し、拡散炉完全国産化へ。米国コビルト社と代理店契約 |
| 1971年 |
（株）テル・エンジニアリングを設立。ラインプリンタの販売を開始 |
| 1972年 |
東京プロセス開発（株）を設立し、分析機器（公害防止機器）の輸入販売を開始。パネトロン（株）がインテル社の代理店としてマイクロプロセッサの輸入販売を開始。TEL America, Inc.を設立 |
| 1973年 |
米国コンピュータビジョン社と代理店契約し、CAD/CAMシステムの輸入開始。山梨事業所とヨーロッパ事務所を設立 |
| 1974年 |
ICテスタ拡販でフェアチャイルド社より表彰を受ける |
| 1975年 |
民生機器の生産と輸出から撤退 |
| 1976年 |
テル・サームコ社が世界初の高圧酸化装置を開発 |
| 1977年 |
米国KLA社と代理店契約。第1回セミコンジャパン開催・出展 |
| 1978年 |
「（株）東京エレクトロン研究所」から「東京エレクトロン（株）」へ商号を変更。日本初のICテストセンターを開設。米国バリアン・アソシエイツ社と代理店契約 |
| 1980年 |
東京証券取引所市場第二部に上場。米国AMD社と代理店契約。野田経済研究所「優秀経営賞」を受賞 |
| 1981年 |
テル・ジェンラッド（株）を設立、インサーキットボードテスタを国産化 |
| 1982年 |
山梨事業所内に総合研究所を設立。テル・バリアン（株）を設立し、イオン注入装置を国産化。クリーントラックの開発開始 |
| 1983年 |
米国ラム・リサーチ社との合弁会社テル・ラム（株）を設立。テル・サームコ（株）を横浜より神奈川県津久井郡城山町に移転。日経・優良企業ランキング4位。九州事業所を熊本県に開設 |
| 1984年 |
東京証券取引所市場第一部に指定替え。日経・優れた企業ランキング（PRISM）4位 |
| 1985年 |
横浜VLSIデザインセンターを開設。東北事業所を開設。日経・優良企業ランキング4位 |
| 1986年 |
山梨県韮崎市穂坂工業団地内に総合研究所が完成。テル・サームコ製縦型拡散炉1号機出荷。テル・ラム（株）を子会社化し、社名をテル山梨（株）に変更。半導体製造装置の輸出を開始 |
| 1987年 |
テル九州（株）を設立。府中事業所を開設 |
| 1988年 |
テル・サームコ（株）を100%子会社化し、テル相模（株）に社名変更 |
| 1989年 |
半導体製造装置メーカー売上高世界ランキング1位。バリアン・テル（株）を米国カリフォルニア州に設立 |
| 1990年 |
ディスプレイ製造装置市場へ本格参入。東京エレクトロンFE（株）と東京エレクトロンデバイス（株）を設立 |
| 1991年 |
半導体製造装置メーカー売上高世界ランキング3年連続1位。東京エレクトロン札幌（株）と佐賀（株）を設立 |
| 1992年 |
テル・エンジニアリング（株）を設立 |
| 1993年 |
Tokyo Electron FE Korea Ltd.を設立。ディスプレイ製造装置コータ/デベロッパの販売を開始 |
| 1994年 |
Tokyo Electron Europe Ltd.を設立。TEL America, Inc.からTokyo Electron America, Inc.に社名変更。枚葉CVD装置初号機を出荷 |
| 1995年 |
企業スローガン「Customer Satisfaction」を制定。Tokyo Electron Oregon, Inc.を設立。九州大津事業所を開設。Tokyo Electron Korea Ltd.の全株式を取得 |
| 1996年 |
Tokyo Electron Taiwan Ltd.、Massachusetts、Phoenix Laboratories、Texasを設立 |
| 1997年 |
東京エレクトロン宮城（株）を設立（松島事業所） |
| 1998年 |
山梨・穂坂地区に300mmウェーハ対応のプロセステクノロジーセンター完成。取締役会と執行体の機能分離、報酬委員会、倫理委員会・倫理担当取締役を設置。ストックオプション制度導入。Tokyo Electron Arizona, Inc.、東京エレクトロンEE（株）、Tokyo Electron Israel Ltd.を設立 |
| 1999年 |
東京証券取引所「第4回ディスクロージャー優良企業」に選定。業種変更「商業」から「電気機器」へ。代表取締役の個別報酬開示 |
| 2000年 |
半導体業界の環境対策活動への功績を称え「SEMI井上皓賞」新設。コータ/デベロッパ「CLEAN TRACK™️ ACT™ 8」1,000台出荷達成。東京エレクトロン株が日経225銘柄に採用。Supercritical Systems社を買収。指名委員会設置 |
| 2001年 |
コーポレートメッセージ「People. Technology. Commitment.」を制定。Timbre Technologies社を買収。ISSよりExcellence in Corporate Governance（ECG）を受賞 |
| 2002年 |
産学共同の研究開発支援プログラム（Albany NanoTechプログラム）に参加。Tokyo Electron （Shanghai） Logistic Center Ltd.と東京エレクトロン ソフトウェア・テクノロジーズ（株）を設立 |
| 2003年 |
内閣総理大臣賞を受賞。Tokyo Electron （Shanghai） Ltd.とTEL Technology Center, America, LLCを設立。執行役員制導入 |
| 2004年 |
米国持株会社Tokyo Electron U.S.Holdings, Inc.を設立 |
| 2005年 |
第10回ディスクロージャー表彰を受賞。スラマトラ沖地震・津波災害支援が評価され紺綬褒状を授与 |
| 2006年 |
「TEL Values」を制定。Tokyo Electron Korea Solution Ltd.と米国TEL Venture Capital, Inc.、TEL Epion Inc.を設立。縦型熱処理成膜装置10,000台出荷 |
| 2007年 |
「TEL UNIVERSITY」を設立。ウェーハプローバ累計20,000台出荷 |
| 2008年 |
「知財功労賞」を受賞。Tokyo Electron India Private Ltd.を設立。プリズムランキングで総合2位 |
| 2009年 |
太陽光パネル製造装置事業に参入（2012年にOerlikon Solar社を買収） |
| 2010年 |
東京エレクトロン宮城（株）を設立 |
| 2011年 |
北京大学に「Tokyo Electron Scholarship」を創設。半導体・オブ・ザ・イヤー2011でグランプリ。世界の持続可能な企業100社に選出。Tokyo Electron （Kunshan）Ltd.を設立 |
| 2012年 |
Tokyo Electron Singapore PTE Ltd.、TEL NEXX, Inc.（買収）、TEL FSI, Inc.（買収）、TEL Magnetic Solutions Ltd.（買収）を設立。半導体・オブ・ザ・イヤー2012で優秀賞。STT-MRAM技術開発開始 |
| 2013年 |
創立50周年。国連グローバル・コンパクトに参加。米国Applied Materials, Inc.と経営統合契約を締結 |
| 2014年 |
東京エレクトロンデバイスの一部売却。太陽光パネル事業から撤退。枚葉洗浄装置「CELLESTA™ -i MD」が半導体・オブ・ザ・イヤー2014でグランプリ。枚葉成膜装置「Triase+™ EX-II™ TiN」出荷250台達成 |
| 2015年 |
グローバル収益力を目指す中期経営計画策定。Tokyo Electron Oregon, Inc.設立。東京エレクトロン コーポレートガバナンス・ガイドライン制定。再出発し、新ロゴと企業理念を発表 |
| 2016年 |
宮城のエッチング装置プロセスチャンバー5,000台出荷。内閣総理大臣賞受賞 |
| 2017年 |
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ（株）を設立。フォーブスジャパン「日本を動かす経営者ベスト100」に選定 |
| 2018年 |
トムソン・ロイター「Top 100 Global Tech Leaders」に選出。Tokyo Electron （Malaysia） Sdn. Bhd.を設立 |
| 2019年 |
米国BRIDGとパートナーシップ提携 |
| 2020年 |
TEL Manufacturing and Engineering of America, Inc.を設立。元会長・社長の東 哲郎が旭日重光章を受章 |
| 2021年 |
第2回ROESGランキング（2020年度版）で国内首位。TOPIX Core30に選定。サプライチェーンイニシアティブ「E-COMPASS」立ち上げ |
| 2022年 |
コーポレートガバナンス・オブ・ザ・イヤー®2021で大賞受賞。東京証券取引所プライム市場に指定替え。IRランキング「Most Honored Company」7年連続。新ビジョンとコーポレートメッセージ「Technology Enabling Life」を発表 |
| 2023年 |
Clarivate Top 100 グローバル・イノベーターを2年連続受賞。健康経営優良法人に5年連続認定。Institutional InvestorベストIR企業ランキングで6項目1位。UPWARDS参画。超高速メモリチャネルホールエッチング技術開発。東京エレクトロン Philippines Semiconductor Support Inc.設立。指数連続選定。創立60周年を11月11日に迎える。最先端デバイス技術革新に貢献。社会的責任投資指標「DJSI Asia Pacific」8年連続選定。60周年ロゴのデザインと思い |
| 2024年 |
Clarivate Top 100 グローバル・イノベーターを3年連続受賞。健康経営優良法人に6年連続認定。Institutional InvestorベストIR企業に9年連続選定。指数連続選定。紺綬褒章受章。 |
| 2025年 |
Clarivate Top 100 グローバル・イノベーターを4年連続受賞。健康経営優良法人に9年連続認定。指数連続選定。PRIDE指標2025ゴールド認定を2年連続。東北事業所RBA監査でプラチナ・ステータス取得 |
