| 1953年 |
1953年 : 前身である小俣真空機器研究所設立。 |
| 1953年 |
当社の前身となる「小俣真空機器研究所」を設立 |
| 1953年 |
前身である小俣真空機器研究所設立。 |
| 1955年 |
1955年 : 油回転真空ポンプ「MP-250」の製造開始。 |
| 1955年 |
油回転真空ポンプ「MP-250」の製造開始。 |
| 1957年 |
当社初となる真空蒸着装置「SC-6W」が完成 |
| 1958年 |
1958年 : 昭和眞空機械株式会社を設立。 |
| 1958年 |
昭和眞空機械株式会社を設立。 |
| 1960年 |
1960年 : 水晶振動子用真空蒸着装置の第1号機完成。 |
| 1960年 |
水晶振動子用真空蒸着装置の第1号機完成。 |
| 1961年 |
1961年 : 光学用真空蒸着装置の第1号機完成。 |
| 1961年 |
光学用真空蒸着装置の第1号機完成。 |
| 1967年 |
1967年 : 油回転ポンプ「MP-250」神奈川県工業展にて優秀賞受賞。 |
| 1967年 |
油回転ポンプ「MP-250」が神奈川県工業展にて優秀賞受賞 |
| 1967年 |
油回転ポンプ「MP-250」神奈川県工業展にて優秀賞受賞。 |
| 1971年 |
1971年 : 本社・工場を相模原市大野台に移転。 |
| 1971年 |
本社・工場を相模原市大野台に移転。 |
| 1974年 |
1974年 : 水晶振動子用周波数調整全自動真空蒸着装置「SC-6SA」を完成。 |
| 1974年 |
水晶振動子用周波数調整全自動真空蒸着装置「SC-6SA」を完成。 |
| 1975年 |
1975年 : 営業部門を独立させ株式会社昭和眞空を設立。 |
| 1975年 |
営業部門を独立させ株式会社昭和眞空を設立。 |
| 1977年 |
1977年 : 機械加工部門を独立させ、昭和精工株式会社を設立。 |
| 1977年 |
機械加工部門を独立させ、昭和精工株式会社を設立。 |
| 1977年 |
光学部品市場向けの多層膜真空蒸着装置を開発。 |
| 1978年 |
1978年 : クォーツ時計用の周波数調整用全自動真空蒸着装置を開発。 |
| 1978年 |
1978年 : 日本真空技術株式会社（現 株式会社アルバック）と技術提携を主とした業務提携契約を結ぶ。 |
| 1978年 |
1978年 : 社名を昭和眞空機械株式会社より、株式会社昭和眞空に変更する。 |
| 1978年 |
アルバックと業務提携 |
| 1978年 |
クォーツ時計用の周波数調整用全自動真空蒸着装置を開発。 |
| 1978年 |
日本真空技術株式会社（現 株式会社アルバック）と技術提携を主とした業務提携契約を結ぶ。 |
| 1978年 |
社名を昭和眞空機械株式会社より、株式会社昭和眞空に変更する。 |
| 1979年 |
1979年 : 光学用多層膜真空蒸着装置の「SGC-22SA」をフルモデルチェンジする。 |
| 1979年 |
光学用多層膜真空蒸着装置の「SGC-22SA」をフルモデルチェンジする。 |
| 1983年 |
1983年 : 相模原市上溝に昭和眞空上溝工場（740m²）を新築。 |
| 1983年 |
相模原市上溝に昭和眞空上溝工場（740m²）を新築。 |
| 1984年 |
1984年 : MCFクリスタル周波数調整用真空蒸着装置「SFC-71M」が第1回神奈川工業技術大賞を受賞。 |
| 1984年 |
MCFクリスタル周波数調整用真空蒸着装置「SFC-71M」が第1回神奈川工業技術大賞を受賞 |
| 1984年 |
MCFクリスタル周波数調整用真空蒸着装置「SFC-71M」が第1回神奈川工業技術大賞を受賞。 |
| 1986年 |
1986年 : 神奈川県標準工場に認定される。 |
| 1986年 |
1986年 : 大野台第2工場完成。 |
| 1986年 |
1986年 : 小俣邦正が代表取締役社長に就任。 |
| 1986年 |
神奈川県標準工場に認定される。 |
| 1986年 |
大野台第2工場完成。 |
| 1986年 |
小俣邦正が代表取締役社長に就任。 |
| 1991年 |
1991年 : 中小企業庁モデル工場に指定される。 |
| 1991年 |
中小企業庁モデル工場に指定される。 |
| 1994年 |
1994年 : 第11回神奈川工業技術開発大賞奨励賞をミニインライン方式高周波・高精度水晶調整装置「SRC-01」が受賞。 |
| 1994年 |
第11回神奈川工業技術開発大賞奨励賞をミニインライン方式高周波・高精度水晶調整装置「SRC-01」が受賞。 |
| 1995年 |
1995年 : 水晶用ベース電極膜付用スパッタリング装置「SPH-2500」を完成。 |
| 1995年 |
水晶用ベース電極膜付用スパッタリング装置「SPH-2500」を完成。 |
| 1996年 |
1996年 : MCF用インライン方式水晶周波数調整装置「SRM-2111C」を完成。 |
| 1996年 |
MCF用インライン方式水晶周波数調整装置「SRM-2111C」を完成。 |
| 1997年 |
1997年 : 社名を株式会社昭和眞空より、株式会社昭和真空へ変更する。 |
| 1997年 |
社名を株式会社昭和眞空より、株式会社昭和真空へ変更する。 |
| 1997年 |
日本真空技術株式会社（現 株式会社アルバック）との技術提携を主とした業務提携契約を解除し、新たに中華人民共和国における営業活動及び宣伝広告、展示会出展に関する業務契約を締結。 |
| 2000年 |
2000年 : 株式をJASDAQ（店頭）市場へ上場。 |
| 2000年 |
年商100億円突破 株式上場 |
| 2000年 |
株式をJASDAQ（店頭）市場へ上場。 |
| 2001年 |
2001年 : 「ISO9001：2000」の認証を全事業所で取得。 |
| 2001年 |
品質マネジメントの国際規格ISO9001：2000認証取得 |
| 2001年 |
「ISO9001：2000」の認証を全事業所で取得。 |
| 2001年 |
品質マネジメントの国際規格 ISO9001：2000認証取得 |
| 2002年 |
2002年 : 中国上海市に昭和真空機械（上海）有限公司を設立。 |
| 2002年 |
2002年 : 米オハイオ州にSansei-Showa Co., Ltd. USA を設立。 |
| 2002年 |
中国に製造工場を設置 |
| 2002年 |
中国上海市に昭和真空機械（上海）有限公司を設立。 |
| 2002年 |
米オハイオ州にSansei-Showa Co., Ltd. USA を設立。 |
| 2003年 |
2003年 : 中国上海市に昭和真空機械貿易（上海）有限公司を設立。 |
| 2003年 |
2003年 : 有機EL素子評価用蒸着装置「SEC-08C」を完成。 |
| 2003年 |
中国上海市に昭和真空機械貿易（上海）有限公司を設立。 |
| 2003年 |
有機EL素子評価用蒸着装置「SEC-08C」を完成。 |
| 2004年 |
2004年 : 相模原工場建設。光学薄膜の研究子会社 株式会社SPTを設立。 |
| 2004年 |
2004年 : 大野台第二工場改修及び同工場に営業所を移転。 |
| 2004年 |
生産機能再構築に伴い新相模原工場を建設 |
| 2004年 |
相模原工場建設。 |
| 2004年 |
光学薄膜の研究子会社 株式会社SPTを設立。 |
| 2004年 |
大野台第二工場改修及び同工場に営業所を移転。 |
| 2005年 |
2005年 : 相模原工場内に本社を移転する。 |
| 2005年 |
2005年 : 「ISO14001：2004」の認証を取得。 |
| 2005年 |
環境マネジメントの国際規格ISO14001：2004認証取得 |
| 2005年 |
相模原工場内に本社を移転する。 |
| 2005年 |
「ISO14001：2004」の認証を取得。 |
| 2005年 |
第1期工事竣工時。 |
| 2006年 |
2006年 : 経済産業省から「明日の日本を支える元気なものづくり中小企業300社」の一社に認定される。 |
| 2006年 |
2006年 : 株式会社エフ・イー・シーの全株式を取得し子会社化。 |
| 2006年 |
経済産業省から「明日の日本を支える元気なものづくり中小企業300社」に認定 |
| 2006年 |
経済産業省から「明日の日本を支える元気なものづくり中小企業300社」の一社に認定される。 |
| 2006年 |
株式会社エフ・イー・シーの全株式を取得し子会社化。 |
| 2006年 |
「明日の日本を支える元気なモノ作り中小企業300社」に選定。 |
| 2008年 |
2008年 : 設立50周年式典を東京ディズニーランドで開催。 |
| 2008年 |
設立50周年式典を東京ディズニーランドで開催。 |
| 2010年 |
2010年 : 株式会社SPTを吸収合併。 |
| 2010年 |
株式会社SPTを吸収合併。 |
| 2011年 |
2011年 : 水晶デバイス用周波数調整装置が「九都県市のきらりと光る産業技術」を受賞。 |
| 2011年 |
水晶デバイス用周波数調整装置が「九都県市のきらりと光る産業技術」を受賞 |
| 2011年 |
水晶デバイス用周波数調整装置が「九都県市のきらりと光る産業技術」を受賞。 |
| 2011年 |
水晶デバイス用周波数調整装置が「九都県市のきらりと光る産業技術」受賞 |
| 2012年 |
2012年 : 大野台第二工場・営業所を売却。営業部門は本社・相模原工場へ移転。 |
| 2012年 |
大野台第二工場・営業所を売却。 |
| 2012年 |
営業部門は本社・相模原工場へ移転。 |
| 2014年 |
2014年 : 富士見物件（土地・建物）を売却。 |
| 2014年 |
2014年 : 水晶振動子用周波数調整装置「SFE-B03」が、第31回神奈川工業技術開発大賞 ビジネス賞を受賞。 |
| 2014年 |
富士見物件（土地・建物）を売却。 |
| 2014年 |
水晶振動子用周波数調整装置「SFE-B03」が、第31回神奈川工業技術開発大賞 ビジネス賞を受賞。 |
| 2015年 |
2015年 : 北陸サービスセンターを開設。 |
| 2015年 |
北陸サービスセンターを開設。 |
| 2016年 |
2016年 : 光学薄膜用ALD装置「Genesis-AR Series」を開発。光学薄膜用スパッタリング装置「AXIS-Series」を開発。 |
| 2016年 |
光学薄膜用ALD装置「Genesis-AR Series」を開発。 |
| 2016年 |
光学薄膜用スパッタリング装置「AXIS-Series」を開発。 |
| 2018年 |
2018年 : 大野台パーツセンターを売却。東北サービスセンターを開設。 |
| 2018年 |
2018年 : 経済産業省から「地域未来牽引企業」に選定される。 |
| 2018年 |
大野台パーツセンターを売却。 |
| 2018年 |
東北サービスセンターを開設。 |
| 2018年 |
経済産業省から「地域未来牽引企業」に選定される。 |
| 2020年 |
2020年 : 相模原工場に研究開発棟（1,486m²）を新築。 |
| 2020年 |
2020年 : 経済産業省認定「グローバルニッチトップ企業100選」に選定される。 |
| 2020年 |
本社・相模原工場に研究開発棟を建設 |
| 2020年 |
経済産業省認定「グローバルニッチトップ企業100選」に選定 |
| 2020年 |
相模原工場に研究開発棟（1,486m²）を新築。 |
| 2020年 |
経済産業省認定「グローバルニッチトップ企業100選」に選定される。 |
| 2020年 |
本社・相模原工場に研究開発棟を建設 経済産業省認定「グローバルニッチトップ企業100選」に選定 |
| 2022年 |
2022年 : 東京証券取引所市場区分見直しにより、JASDAQ（スタンダード）からスタンダード市場へ移行。 |
| 2022年 |
東京証券取引所市場区分見直しにより、JASDAQ（スタンダード）からスタンダード市場へ移行。 |
