| 2005年11月 |
Litrex Corporation 株式取得と子会社化、ULVAC (THAILAND) LTD. 設立 |
英国 Cambridge Display Technology Limited が保有する Litrex Corporation 株式（50％）を取得し100％子会社化 : タイに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC (THAILAND) LTD. を設立 |
| 2005年12月 |
ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP. 設立 |
台湾にフラットパネルディスプレイ製造装置などの製造を目的とした ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と、部品加工や部品洗浄などフィールドサポートを目的とした ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP. を設立 |
| 2006年03月 |
愛発科（中国）投資有限公司 設立 |
中国における子会社の管理統括等を目的とした愛発科（中国）投資有限公司を設立 |
| 2006年04月 |
ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc. 設立 |
台湾に制御盤等の製造を目的とした ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc. を設立 |
| 2006年07月 |
ULVAC Research Center KOREA, Ltd. と ULVAC Research Center TAIWAN, Inc. 設立 |
韓国に研究開発を目的とした ULVAC Research Center KOREA, Ltd. を設立 : 台湾に研究開発を目的とした ULVAC Research Center TAIWAN, Inc. を設立 |
| 2006年08月 |
シグマテクノス株式取得と ULVAC MALAYSIA SDN. BHD. 設立 |
精密ステージを製造・販売しているシグマテクノス株式会社の株式（70％）を取得 : マレーシアに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC MALAYSIA SDN. BHD. を設立 |
| 2006年09月 |
アルバックテクノ株式会社ケミカルセンター 新設とアルバック機工株式会社宮崎事業所 増設 |
神奈川県茅ケ崎市に真空装置部品の表面処理を目的としたアルバックテクノ株式会社ケミカルセンターを新設 : 宮崎県西都市に小型真空ポンプの生産集約化を目的として、アルバック機工株式会社宮崎事業所を増設 |
| 2006年11月 |
愛知工場 新設 |
愛知県春日井市にフラットパネルディスプレイ製造装置の生産能力拡充のため、愛知工場を新設 |
| 2007年06月 |
ULVAC, Inc. India Branch 設立 |
インドビジネス拡大のため、ULVAC, Inc. India Branch. を設立 |
| 2007年09月 |
シグマテクノス本社工場 新設 |
埼玉県日高市に大型の精密ステージの製造・販売するためシグマテクノス株式会社本社工場を新設 |
| 2007年11月 |
愛発科啓電科技（上海）有限公司 商号変更 |
啓電実業股份有限公司の持株譲渡に伴い愛発科啓電科技（上海）有限公司を愛発科自動化科技（上海）有限公司に商号変更 |
| 2008年02月 |
アルバック ワイ・エム・イー株式会社（商号変更 アルバックエンジニアリング株式会社） 設立 |
開発委託設計を目的としたアルバック ワイ・エム・イー株式会社（商号変更 アルバックエンジニアリング株式会社）を設立 |
| 2008年07月 |
アルバックヒューマンリレーションズ株式会社 設立 |
フィールドサポートを専門とした、アルバックヒューマンリレーションズ株式会社を設立 |
| 2008年08月 |
ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation 合併 |
台湾における経営の合理化などを目的として ULVAC TAIWAN INC. を存続会社とし、ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と合併 |
| 2008年08月 |
ULVAC Materials Korea, Ltd 設立 |
韓国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、ULVAC Materials Korea, Ltd を設立 |
| 2008年10月 |
アルバックマテリアル株式会社から当社へ事業移転とアルバックテクノ株式会社・アルバック九州株式会社へ事業譲渡 |
スパッタリングターゲット材の効率的な生産と開発体制の強化を目的として、アルバックマテリアル株式会社から当社へ事業を移し、洗浄事業のサポート体制の充実を目的として、アルバックテクノ株式会社とアルバック九州株式会社へ事業譲渡 |
| 2009年04月 |
愛発科電子材料（蘇州）有限公司 設立 |
中国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディグを目的とした、愛発科電子材料（蘇州）有限公司を設立 |
| 2009年04月 |
愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司 設立 |
中国にタッチパネルの製造などを目的とした愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司を設立 |
| 2009年06月 |
Litrex Corporation 解散と事業継続 |
ディスプレイ事業を東アジアで機動的に事業展開するため、Litrex Corporation を解散し、当社にて同事業を継続 |
| 2009年12月 |
愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司 設立 |
中国に研究開発を目的とした愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司を設立 |
| 2010年01月 |
資本金増資 |
資本金134億68百万円より208億73百万円に増資 |
| 2010年03月 |
千葉超材料研究所 新設 |
研究開発強化のため、富里工業団地に千葉超材料研究所を新設移設 |
| 2010年10月 |
アルバックマテリアル株式会社吸収合併と事業譲渡 |
当社がアルバックマテリアル株式会社を吸収合併、アルバック九州株式会社のサービス、洗浄、表面処理事業をアルバックテクノ株式会社に事業譲渡 : アルバック九州株式会社がアルバック精機株式会社を吸収合併 |
| 2011年07月 |
ULVAC KOREA, Ltd. 付属研究所として韓国超材料研究所 設立 |
韓国での研究開発強化のため、ULVAC KOREA, Ltd. の付属研究所として韓国超材料研究所を設立 |
| 2012年06月 |
株式会社アルバック・コーポレートセンター 解散 |
株式会社アルバック・コーポレートセンターを解散し、当社にて同事業を継続 |
| 2012年07月 |
アルバック イーエス株式会社 商号変更 アルバック販売株式会社 |
販売体制強化のため、アルバック イーエス株式会社をアルバック販売株式会社に商号変更 |
| 2012年09月 |
シグマテクノス株式会社 解散 |
シグマテクノス株式会社を解散 |
| 2013年10月 |
日本リライアンス株式会社の株式譲渡 |
日本リライアンス株式会社の一部株式（80％相当）を株式会社高岳製作所へ譲渡 |
| 2014年06月 |
ULVAC Research Center TAIWAN, INC. 解散 |
ULVAC Research Center TAIWAN, INC. を解散し、ULVAC TAIWAN INC. にて同事業を継続 |
| 2014年06月 |
愛発科真空設備（上海）有限公司 設立 |
中国に輸入部品の保税扱いでの仕入れ、販売のため、愛発科真空設備（上海）有限公司を設立 |
| 2014年12月 |
アルバック理工株式会社株式譲渡 |
アルバック理工株式会社（現アドバンス理工株式会社）の全株式を株式会社チノーへ譲渡 |
| 2015年01月 |
アルバックエンジニアリング株式会社 解散 |
アルバックエンジニアリング株式会社を解散 |
| 2015年07月 |
未来技術研究所 設立 |
未来技術研究所を設立 |
| 2016年12月 |
愛発科中北真空（沈陽）有限公司 取得と子会社化 |
沈陽中北真空技術有限公司が保有する愛発科中北真空（沈陽）有限公司（現愛発科真空技術（沈陽）有限公司）の株式（25％）を取得し、100%子会社化 |
| 2017年09月 |
愛発科中北真空（沈陽）有限公司 商号変更 |
100％子会社化に伴い、愛発科中北真空（沈陽）有限公司を愛発科真空技術（沈陽）有限公司に商号変更 |
| 2018年07月 |
愛発科成膜技術（合肥）有限公司 設立 |
中国にフラットパネルディスプレイ用マスクブランクス事業の生産、販売を目的とした愛発科成膜技術（合肥）有限公司を設立 |
| 2018年10月 |
寧波愛発科真空技術有限公司 第三者割当増資 |
寧波愛発科真空技術有限公司が第三者割当増資を実施 |
| 2018年11月 |
アルバック未来技術協働研究所 開設 |
大阪大学内にアルバック未来技術協働研究所を開設 |
| 2019年01月 |
日本リライアンス株式会社 商号変更 |
日本リライアンス株式会社を株式会社ＲＥＪに商号変更 |
| 2020年04月 |
先進技術研究所 設立 |
技術開発部、半導体電子技術研究所、未来技術研究所の一部、超材料研究所を統合し、先進技術研究所を設立 |
| 2021年05月 |
Pure Surface Technology, Ltd. 吸収合併 |
Pure Surface Technology, Ltd. が ULVAC Materials Korea, Ltd. 、Ulvac Korea Precision, Ltd. 、UF TECH, Ltd. を吸収合併 |
| 2021年07月 |
アルバックヒューマンリレーションズ株式会社 株式譲渡 |
アルバックヒューマンリレーションズ株式会社の全株式を株式会社マイスティアへ譲渡 |
| 2021年08月 |
愛発科東方検測技術（成都）有限公司 設立 |
中国にリークテスト装置の生産、販売を目的とした愛発科東方検測技術（成都）有限公司を設立 |
| 2021年09月 |
アルバック先進技術協働研究拠点 設置 |
東京工業大学（現東京科学大学）内にアルバック先進技術協働研究拠点を設置 |
| 2022年04月 |
東京証券取引所 市場区分見直し |
東京証券取引所の市場区分見直しにより、東京証券取引所の市場第一部からプライム市場に移行 |
| 2022年06月 |
株式会社ＲＥＪ 株式譲渡 |
株式会社ＲＥＪの全株式をアイダエンジニアリング株式会社へ譲渡 |
| 2022年07月 |
アルバック東北株式会社・アルバック九州株式会社 吸収合併 |
当社がアルバック東北株式会社、アルバック九州株式会社を吸収合併 |
| 2023年11月 |
愛発科費恩斯（南京）儀器有限公司 設立 |
中国に表面分析装置の販売、カスタマーサポートを目的とした愛発科費恩斯（南京）儀器有限公司を設立 |
| 2024年05月 |
Technology Center PYEONGTAEK 設立 |
韓国に製品・技術開発の加速、コラボレーションと技術サポートの強化を目的とした Technology Center PYEONGTAEK を新設 |
| 2025年07月 |
アルバックテクノ株式会社がタイゴールド株式会社吸収合併 |
アルバックテクノ株式会社が当社の完全子会社であるタイゴールド株式会社を吸収合併 |
