| 0003年 |
最小コストで最大のパフォーマンスを実現する研究開発用複合スパッタリング装置「S-QAMシリーズ」を開発 |
| 1952年08月 |
1952年 8月 : 各種真空装置の輸入販売を目的として、日本真空技術株式会社（資本金6百万円）を創業 |
| 1952年08月 |
各種真空装置の輸入販売を目的として、日本真空技術株式会社（資本金6百万円）を創業 |
| 1955年04月 |
1955年 4月 : 大森工場を新設し、国産装置の製造に着手 |
| 1955年04月 |
大森工場を新設し、国産装置の製造に着手 |
| 1956年11月 |
1956年 11月 : 株式会社東洋精機真空研究所を合併し、尼崎工場として真空化学装置及び真空ポンプ等の規格品の製造に着手 |
| 1956年11月 |
株式会社東洋精機真空研究所を合併し、尼崎工場として真空化学装置及び真空ポンプ等の規格品の製造に着手 |
| 1959年04月 |
1959年 4月 : 本社及び大森工場を横浜市に移転 |
| 1959年04月 |
本社及び大森工場を横浜市に移転 |
| 1961年07月 |
1961年 7月 : 真空技術の基本を応用し、真空冶金事業を開始 |
| 1961年07月 |
真空技術の基本を応用し、真空冶金事業を開始 |
| 1962年09月 |
1962年 9月 : 真空材料株式会社（商号変更 アルバックマテリアル株式会社）を設立、耐火材料の販売を開始 |
| 1962年09月 |
真空材料株式会社（商号変更 アルバックマテリアル株式会社）を設立、耐火材料の販売を開始 |
| 1962年10月 |
1962年 10月 : 熱分析機器の専門メーカーとして真空理工株式会社（現アドバンス理工株式会社）を設立 |
| 1962年10月 |
熱分析機器の専門メーカーとして真空理工株式会社（現アドバンス理工株式会社）を設立 |
| 1963年10月 |
1963年 10月 : 新生産業株式会社（1929年9月20日創立）に吸収合併されると共に、同日社名を日本真空技術株式会社と改称し、旧日本真空技術株式会社の事業内容を継続 |
| 1963年10月 |
新生産業株式会社に吸収合併され、社名を日本真空技術株式会社と改称し、旧日本真空技術株式会社の事業内容を継続 |
| 1964年01月 |
1964年 1月 : 外国事業部リライアンス部を分離し、米国 Reliance Electric and Engineering Co. と共同出資で日本リライアンス株式会社を設立 |
| 1964年01月 |
外国事業部リライアンス部を分離し、米国 Reliance Electric and Engineering Co. と共同出資で日本リライアンス株式会社を設立 |
| 1964年07月 |
1964年 7月 : 香港万豊有限公司と共同出資で合弁会社 Hong Kong ULVAC Co., Ltd. を設立 |
| 1964年07月 |
香港万豊有限公司と共同出資で合弁会社 Hong Kong ULVAC Co., Ltd. を設立 |
| 1966年04月 |
1966年 4月 : 真空冶金事業部を分離し、真空冶金株式会社を設立 |
| 1966年04月 |
真空冶金事業部を分離し、真空冶金株式会社を設立 |
| 1968年05月 |
1968年 5月 : 本社及び横浜工場を茅ヶ崎市に移転 |
| 1968年05月 |
本社及び横浜工場を茅ヶ崎市に移転 |
| 1970年01月 |
透明導電膜を開発 |
| 1970年07月 |
1970年 7月 : 専売特約店の三和アルバック販売株式会社（商号変更 アルバック東日本株式会社）を設立 |
| 1970年07月 |
専売特約店の三和アルバック販売株式会社（商号変更 アルバック東日本株式会社）を設立 |
| 1970年10月 |
世界最大の気相乾燥装置完成 |
| 1971年07月 |
1971年 7月 : 小型真空ポンプの専門メーカーとして真空機工株式会社（現アルバック機工株式会社）を設立 |
| 1971年07月 |
小型真空ポンプの専門メーカーとして真空機工株式会社（現アルバック機工株式会社）を設立 |
| 1972年07月 |
1972年 7月 : 超材料研究所を千葉県に新設 |
| 1972年07月 |
超材料研究所を千葉県に新設 |
| 1974年12月 |
日本原子力研究所東海研究所へ納入の核融合実験装置の排気系完成 |
| 1975年10月 |
米国IBM社からコンピュータ制御による全自動真空蒸着装置を大量受注 |
| 1975年12月 |
1975年 12月 : 対米輸出の拠点として北米に現地法人 ULVAC North America Corp.（現ULVAC Technologies, Inc.）を設立 |
| 1975年12月 |
北米に現地法人 ULVAC North America Corp.（現ULVAC Technologies, Inc.）を設立 |
| 1976年04月 |
イオン浸炭装置を開発 |
| 1977年01月 |
1977年 1月 : 九州地区の営業活動の拡大のために九州アルバック株式会社（商号変更 アルバック九州株式会社）を設立 |
| 1977年01月 |
九州地区の営業拡大のため九州アルバック株式会社（商号変更 アルバック九州株式会社）を設立 |
| 1979年01月 |
1979年 1月 : サービス事業部を分離し、アルバックサービス株式会社を設立 : SI事業部を分離し、アルバック成膜株式会社を設立 |
| 1979年01月 |
サービス事業部を分離し、アルバックサービス株式会社を設立; SI事業部を分離し、アルバック成膜株式会社を設立 |
| 1981年10月 |
1981年 10月 : 米国 Helix Technology Corp. と共同出資でアルバック・クライオ株式会社を設立 |
| 1981年10月 |
米国 Helix Technology Corp. と共同出資でアルバック・クライオ株式会社を設立 |
| 1982年01月 |
1982年 1月 : 台湾台北市に ULVAC TAIWAN Co., Ltd.（現ULVAC TAIWAN INC.）を設立 |
| 1982年01月 |
台湾台北市に ULVAC TAIWAN Co., Ltd.（現ULVAC TAIWAN INC.）を設立 |
| 1982年11月 |
1982年 11月 : 米国 The Perkin Elmer Corp. と共同出資でアルバック・ファイ株式会社を設立 |
| 1982年11月 |
米国 The Perkin Elmer Corp. と共同出資でアルバック・ファイ株式会社を設立 |
| 1982年12月 |
1982年 12月 : 茨城県筑波学園都市（現つくば市）市内に筑波超材料研究所を設立 |
| 1982年12月 |
茨城県筑波学園都市に筑波超材料研究所を設立 |
| 1983年02月 |
1983年 2月 : 中国北京市に北京事務所を開設 |
| 1983年02月 |
中国北京市に北京事務所を開設 |
| 1985年03月 |
1985年 3月 : 核融合臨界プラズマ実験装置「JT-60」の真空排気系を納入 |
| 1985年03月 |
核融合臨界プラズマ実験装置「JT-60」の真空排気系を納入 |
| 1985年04月 |
1985年 4月 : 関西の拠点工場としてアルバック精機株式会社を設立 |
| 1985年04月 |
関西の拠点工場としてアルバック精機株式会社を設立 |
| 1987年01月 |
1987年 1月 : 大型装置の生産体制強化のため、青森県八戸市に東北真空技術株式会社（商号変更 アルバック東北株式会社）を設立 |
| 1987年01月 |
青森県八戸市に東北真空技術株式会社（商号変更 アルバック東北株式会社）を設立 |
| 1987年02月 |
1987年 2月 : 欧州地区のサービス体制強化のため、西独に ULVAC GmbH を設立 |
| 1987年02月 |
欧州地区のサービス体制強化のため、西独に ULVAC GmbH を設立 |
| 1987年05月 |
1987年 5月 : グループ会社支援のため、株式会社アルバック・コーポレートセンターを設立 |
| 1987年05月 |
グループ会社支援のため、株式会社アルバック・コーポレートセンターを設立 |
| 1987年09月 |
1987年 9月 : 英文社名を ULVAC Japan, Ltd. と変更 |
| 1987年09月 |
英文社名を ULVAC Japan, Ltd. と変更 |
| 1988年10月 |
1988年 10月 : 真空ポンプの量産体制確立のため、鹿児島に九州真空技術株式会社を設立 |
| 1988年10月 |
鹿児島に九州真空技術株式会社を設立 |
| 1990年05月 |
1990年 5月 : 半導体製造装置の生産体制強化のため静岡県裾野市に富士裾野工場を新設 |
| 1990年05月 |
静岡県裾野市に富士裾野工場を新設 |
| 1991年12月 |
1991年 12月 : 九州真空技術株式会社がアルバック精機株式会社を合併し、アルバック精機株式会社に商号変更 |
| 1991年12月 |
九州真空技術株式会社がアルバック精機株式会社を合併し、アルバック精機株式会社に商号変更 |
| 1992年04月 |
1992年 4月 : 資本金12億10百万円より38億30百万円に増資 |
| 1992年04月 |
資本金を12億10百万円より38億30百万円に増資 |
| 1992年06月 |
資本金を38億50百万円に増資 |
| 1993年05月 |
極・超高真空用高性能スパッタイオンポンプ「アクターポンプ」を発売 |
| 1993年10月 |
極めて放出ガスの少ない極高真空用材料及びこれらの放出ガスを正確に測定する方法を開発 |
| 1994年09月 |
次世代半導体プロセス用低圧ロングスロースパッタ（LTS）法を開発 |
| 1994年10月 |
1994年 10月 : アルバックサービス株式会社がアルバックマテリアル株式会社を合併し、アルバックテクノ株式会社に商号変更 |
| 1994年10月 |
アルバックサービス株式会社がアルバックマテリアル株式会社を合併し、アルバックテクノ株式会社に商号変更 |
| 1995年05月 |
1995年 5月 : 韓国ソウル市に、ULVAC KOREA, Ltd. を設立 |
| 1995年05月 |
韓国ソウル市にULVAC KOREA, Ltd.を設立 |
| 1995年09月 |
1995年 9月 : 中国に寧波中策動力機電集団有限公司と合弁で寧波愛発科真空技術有限公司を設立 |
| 1995年09月 |
中国に寧波中策動力機電集団有限公司と合弁で寧波愛発科真空技術有限公司を設立 |
| 1996年11月 |
1996年 11月 : 真空装置の生産能力拡充のため、東北真空技術株式会社、アルバック九州株式会社鹿児島事業所にクリーン工場を増設 |
| 1996年11月 |
東北真空技術株式会社、アルバック九州株式会社鹿児島事業所にクリーン工場を増設 |
| 1998年01月 |
1998年 1月 : シンガポールCSセンター、台湾新竹R&Dセンターを開設し、アジアのネットワークを拡大 |
| 1998年01月 |
シンガポールCSセンター、台湾新竹R&Dセンターを開設 |
| 2000年04月 |
2000年 4月 : 台北五股サービスセンターを開設 |
| 2000年04月 |
台北五股サービスセンターを開設 |
| 2000年08月 |
2000年 8月 : ULVAC KOREA, Ltd. に生産工場として平澤工場を設置 |
| 2000年08月 |
ULVAC KOREA, Ltd.に平澤工場を設置 |
| 2001年05月 |
2001年 5月 : 寧波愛発科真空技術有限公司に新工場を設置 |
| 2001年05月 |
寧波愛発科真空技術有限公司に新工場を設置 |
| 2001年07月 |
2001年 7月 : 株式会社アルバック（英文社名 ULVAC, Inc.）に商号変更 |
| 2001年07月 |
株式会社アルバック（ULVAC, Inc.）に商号変更 |
| 2001年11月 |
2001年 11月 : カスタマーサポート強化のため ULVAC TAIWAN INC. 桃園 CIP 工場を設置 |
| 2001年11月 |
ULVAC TAIWAN INC.桃園CIP工場を設置 |
| 2002年01月 |
2002年 1月 : カスタマーサポート体制の充実のため ULVAC SINGAPORE PTE LTD を設立 |
| 2002年01月 |
ULVAC SINGAPORE PTE LTDを設立 |
| 2002年07月 |
2002年 7月 : アルバック東日本株式会社が高山アルバック株式会社を合併し、アルバック イーエス株式会社（現アルバック販売株式会社）に商号変更 |
| 2002年07月 |
高山アルバック株式会社を合併し、アルバック イーエス株式会社に商号変更 |
| 2002年12月 |
2002年 12月 : 米国 Physical Electronics USA, Inc. が保有するアルバック・ファイ株式会社株式（50％）を取得し、100％子会社化 |
| 2002年12月 |
米国 Physical Electronics USA, Inc.のアルバック・ファイ株式会社株式（50％）を取得し、100％子会社化 |
| 2003年03月 |
2003年 3月 : 米国 RELIANCE ELECTRIC COMPANY より日本リライアンス株式会社株式（31％）を取得し、持分を81％に引き上げ |
| 2003年03月 |
米国 RELIANCE ELECTRIC COMPANY より日本リライアンス株式会社株式（31％）を取得し、持分を81％に引き上げ |
| 2003年05月 |
2003年 5月 : アルバック東北株式会社、アルバックテクノ株式会社、UMAT 株式会社による機械加工、表面処理、精密洗浄の一貫工場を東北に設置 |
| 2003年05月 |
アルバック東北株式会社、アルバックテクノ株式会社、UMAT 株式会社による工場を東北に設置 |
| 2003年07月 |
2003年 7月 : 中国における本格的生産工場と CS ソリューション工場として愛発科真空技術（蘇州）有限公司を設立 |
| 2003年07月 |
中国に愛発科（蘇州）有限公司を設立 |
| 2003年08月 |
2003年 8月 : 工業用インクジェット装置を製造・販売している Litrex Corporation の株式50％を取得 |
| 2003年08月 |
Litrex Corporationの株式50％を取得 |
| 2004年04月 |
2004年 4月 : 東京証券取引所市場第1部に株式を上場 : 資本金38億50百万円より81億円に増資 |
| 2004年04月 |
東京証券取引所市場第1部に株式を上場; 資本金を81億円に増資 |
| 2004年05月 |
2004年 5月 : 81億円より89億50百万円に増資 |
| 2004年05月 |
資本金を89億50百万円に増資 |
| 2004年07月 |
2004年 7月 : 韓国に ULVAC KOREA, Ltd. とアルバック東北株式会社が共同出資で大型基板真空用部品の製造を目的とした Ulvac Korea Precision, Ltd. を設立 : 韓国に ULVAC KOREA, Ltd. と真空冶金株式会社が共同出資で成膜装置用部品の表面処理を目的とした Pure Surface Technology, Ltd. を設立 |
| 2004年07月 |
韓国に Ulvac Korea Precision, Ltd. と Pure Surface Technology, Ltd.を設立 |
| 2004年08月 |
2004年 8月 : 中国に日本リライアンス株式会社、啓電実業股份有限公司と共同出資で制御盤及び自動制御駆動装置の製造、販売を目的とした愛発科啓電科技（上海）有限公司を設立 |
| 2004年08月 |
中国に愛発科啓電科技（上海）有限公司を設立 |
| 2004年12月 |
資本金を134億68百万円に増資 |
| 2005年01月 |
2005年 1月 : 中国にアルバック機工株式会社と江蘇宝驪集団公司と共同出資で真空ポンプ用部品の製造、販売を目的とした愛発科天馬電機（靖江）有限公司を設立 : 中国に沈陽中北真空技術有限公司と共同出資で真空炉の製造、販売を目的とした愛発科中北真空（沈陽）有限公司を設立 : 成都東方愛発科真空技術有限公司を子会社化し、愛発科東方真空（成都）有限公司に商号変更 |
| 2005年01月 |
中国に愛発科天馬電機（靖江）有限公司と愛発科中北真空（沈陽）有限公司を設立; 愛発科東方真空（成都）有限公司に商号変更 |
| 2005年04月 |
2005年 4月 : 真空冶金株式会社が UMAT株式会社を合併し、アルバックマテリアル株式会社に商号変更 : フラットパネルディスプレイ事業拡大のため、富士通ヴィエルエスアイ株式会社より設備事業譲受 |
| 2005年04月 |
資本金をさらに増資し、アルバックマテリアル株式会社に商号変更; 富士通ヴィエルエスアイ株式会社より設備事業譲受 |
| 2005年06月 |
2005年 6月 : ULVAC KOREA, Ltd. に生産拡大のため玄谷工場を増設 : アルバック機工株式会社宮崎事業所に小型真空ポンプの評価、検証を目的とした信頼性評価センターを設置 |
| 2005年06月 |
ULVAC KOREA, Ltd.に玄谷工場を増設; 宮崎事業所に信頼性評価センターを設置 |
| 2005年11月 |
英国 Cambridge Display Technology Limited が保有する Litrex Corporation 株式（50％）を取得し100％子会社化 : タイに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC (THAILAND) LTD. を設立 |
| 2005年11月 |
タイに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC (THAILAND) LTD. を設立 |
| 2005年11月 |
英国 Cambridge Display Technology Limitedが保有するLitrex Corporationの株式50％を取得し100％子会社化; タイにULVAC (THAILAND) LTD.を設立 |
| 2005年12月 |
台湾にフラットパネルディスプレイ製造装置などの製造を目的とした ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と、部品加工や部品洗浄などフィールドサポートを目的とした ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP. を設立 |
| 2005年12月 |
|
| 2005年12月 |
台湾にULVAC Taiwan Manufacturing CorporationとULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP.を設立 |
| 2006年03月 |
中国における子会社の管理統括等を目的とした愛発科（中国）投資有限公司を設立 |
| 2006年03月 |
|
| 2006年03月 |
中国に愛発科（中国）投資有限公司を設立 |
| 2006年04月 |
台湾に制御盤等の製造を目的とした ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc. を設立 |
| 2006年04月 |
|
| 2006年04月 |
台湾にULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.を設立 |
| 2006年07月 |
韓国に研究開発を目的とした ULVAC Research Center KOREA, Ltd. を設立 : 台湾に研究開発を目的とした ULVAC Research Center TAIWAN, Inc. を設立 |
| 2006年07月 |
台湾に研究開発を目的とした ULVAC Research Center TAIWAN, Inc. を設立 |
| 2006年07月 |
韓国にULVAC Research Center KOREA, Ltd.を設立; 台湾にULVAC Research Center TAIWAN, Inc.を設立 |
| 2006年08月 |
精密ステージを製造・販売しているシグマテクノス株式会社の株式（70％）を取得 : マレーシアに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC MALAYSIA SDN. BHD. を設立 |
| 2006年08月 |
マレーシアに販売やフィールドサポートを目的とした ULVAC MALAYSIA SDN. BHD. を設立 |
| 2006年08月 |
シグマテクノス株式会社の株式70％を取得; マレーシアにULVAC MALAYSIA SDN. BHD.を設立 |
| 2006年09月 |
神奈川県茅ケ崎市に真空装置部品の表面処理を目的としたアルバックテクノ株式会社ケミカルセンターを新設 : 宮崎県西都市に小型真空ポンプの生産集約化を目的として、アルバック機工株式会社宮崎事業所を増設 |
| 2006年09月 |
宮崎県西都市に小型真空ポンプの生産集約化を目的として、アルバック機工株式会社宮崎事業所を増設 |
| 2006年09月 |
神奈川県茅ケ崎市にアルバックテクノ株式会社ケミカルセンターを新設; 宮崎県西都市にアルバック機工株式会社宮崎事業所を増設 |
| 2006年11月 |
愛知県春日井市にフラットパネルディスプレイ製造装置の生産能力拡充のため、愛知工場を新設 |
| 2006年11月 |
|
| 2006年11月 |
愛知県春日井市に愛知工場を新設 |
| 2007年06月 |
インドビジネス拡大のため、ULVAC, Inc. India Branch. を設立 |
| 2007年06月 |
|
| 2007年06月 |
インドにULVAC, Inc. India Branch.を設立 |
| 2007年09月 |
埼玉県日高市に大型の精密ステージの製造・販売するためシグマテクノス株式会社本社工場を新設 |
| 2007年09月 |
|
| 2007年09月 |
埼玉県日高市にシグマテクノス株式会社本社工場を新設 |
| 2007年11月 |
啓電実業股份有限公司の持株譲渡に伴い愛発科啓電科技（上海）有限公司を愛発科自動化科技（上海）有限公司に商号変更 |
| 2007年11月 |
|
| 2007年11月 |
愛発科自動化科技（上海）有限公司に商号変更 |
| 2008年02月 |
開発委託設計を目的としたアルバック ワイ・エム・イー株式会社（商号変更 アルバックエンジニアリング株式会社）を設立 |
| 2008年02月 |
|
| 2008年02月 |
アルバックエンジニアリング株式会社を設立 |
| 2008年07月 |
フィールドサポートを専門とした、アルバックヒューマンリレーションズ株式会社を設立 |
| 2008年07月 |
|
| 2008年07月 |
アルバックヒューマンリレーションズ株式会社を設立 |
| 2008年08月 |
台湾における経営の合理化などを目的として ULVAC TAIWAN INC. を存続会社とし、ULVAC Taiwan Manufacturing Corporation と合併 |
| 2008年08月 |
韓国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、ULVAC Materials Korea, Ltd を設立 |
| 2008年08月 |
|
| 2008年08月 |
|
| 2008年08月 |
ULVAC TAIWAN INC.とULVAC Taiwan Manufacturing Corporationが合併; ULVAC Materials Korea, Ltd.を設立 |
| 2008年10月 |
スパッタリングターゲット材の効率的な生産と開発体制の強化を目的として、アルバックマテリアル株式会社から当社へ事業を移し、洗浄事業のサポート体制の充実を目的として、アルバックテクノ株式会社とアルバック九州株式会社へ事業譲渡 |
| 2008年10月 |
|
| 2008年10月 |
アルバックマテリアル株式会社から洗浄事業を移管し、アルバックテクノ株式会社とアルバック九州株式会社に事業譲渡 |
| 2008年12月 |
富士裾野工場においてISO 9001の認証を取得 |
| 2009年01月 |
アルバックの「薄膜太陽電池一貫製造ライン」が「2008年日経優秀製品・サービス賞 最優秀賞 日本経済新聞賞」を受賞 |
| 2009年04月 |
中国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディグを目的とした、愛発科電子材料（蘇州）有限公司を設立 |
| 2009年04月 |
中国にタッチパネルの製造などを目的とした愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司を設立 |
| 2009年04月 |
|
| 2009年04月 |
|
| 2009年04月 |
中国に愛発科電子材料（蘇州）有限公司と愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司を設立 |
| 2009年06月 |
ディスプレイ事業を東アジアで機動的に事業展開するため、Litrex Corporation を解散し、当社にて同事業を継続 |
| 2009年06月 |
|
| 2009年06月 |
ディスプレイ事業を東アジアで継続するため、Litrex Corporationを解散し、事業を継続 |
| 2009年12月 |
中国に研究開発を目的とした愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司を設立 |
| 2009年12月 |
|
| 2009年12月 |
中国に愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司を設立 |
| 2010年01月 |
資本金134億68百万円より208億73百万円に増資 |
| 2010年01月 |
|
| 2010年01月 |
資本金を208億73百万円に増資 |
| 2010年03月 |
研究開発強化のため、富里工業団地に千葉超材料研究所を新設移設 |
| 2010年03月 |
|
| 2010年03月 |
千葉超材料研究所を富里工業団地に新設移設 |
| 2010年06月 |
日本で初めて真空計JCSS校正事業者として登録 |
| 2010年07月 |
SABICイノベーティブプラスチックの子会社とプラズマコーティング技術の量産化で技術提携 |
| 2010年10月 |
当社がアルバックマテリアル株式会社を吸収合併、アルバック九州株式会社のサービス、洗浄、表面処理事業をアルバックテクノ株式会社に事業譲渡 : アルバック九州株式会社がアルバック精機株式会社を吸収合併 |
| 2010年10月 |
|
| 2010年10月 |
アルバックマテリアル株式会社を吸収合併し、アルバック九州株式会社のサービス、洗浄、表面処理事業をアルバックテクノ株式会社に譲渡; アルバック九州株式会社がアルバック精機株式会社を吸収合併 |
| 2010年10月 |
株式会社オプトランと光学薄膜用成膜装置販売で業務提携 |
| 2011年05月 |
90ºCのお湯で3kW級の発電が可能な高効率可搬小型発電システムを開発 |
| 2011年07月 |
韓国での研究開発強化のため、ULVAC KOREA, Ltd. の付属研究所として韓国超材料研究所を設立 |
| 2011年07月 |
|
| 2011年07月 |
韓国にULVAC KOREA, Ltd.の付属研究所として韓国超材料研究所を設立 |
| 2011年10月 |
インド HVV Pumps 社と販売代理店契約を締結 |
| 2012年06月 |
株式会社アルバック・コーポレートセンターを解散し、当社にて同事業を継続 |
| 2012年06月 |
|
| 2012年06月 |
株式会社アルバック・コーポレートセンターを解散し、事業を継続 |
| 2012年06月 |
アルバック三次元構造デバイス向けシリサイドプロセス用成膜装置「ENTRON-EX2 W300 CVD-Ni/CVD-Co」が半導体産業新聞主催の「半導体・オブ・ザ・イヤー2012」半導体製造装置優秀賞を受賞 |
| 2012年07月 |
販売体制強化のため、アルバック イーエス株式会社をアルバック販売株式会社に商号変更 |
| 2012年07月 |
|
| 2012年07月 |
アルバック イーエス株式会社をアルバック販売株式会社に商号変更 |
| 2012年09月 |
シグマテクノス株式会社を解散 |
| 2012年09月 |
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| 2013年09月 |
産総研、富士電機と連名で「第11回産学官連携功労者表彰 日本経済団体連合会会長賞」を受賞 |
| 2013年10月 |
日本リライアンス株式会社の一部株式（80％相当）を株式会社高岳製作所へ譲渡 |
| 2013年10月 |
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| 2013年10月 |
日本リライアンス株式会社の80％株式を高岳製作所へ譲渡 |
| 2014年06月 |
ULVAC Research Center TAIWAN, INC. を解散し、ULVAC TAIWAN INC. にて同事業を継続 |
| 2014年06月 |
中国に輸入部品の保税扱いでの仕入れ、販売のため、愛発科真空設備（上海）有限公司を設立 |
| 2014年06月 |
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| 2014年06月 |
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| 2014年06月 |
ULVAC Research Center TAIWAN, INC.を解散し、ULVAC TAIWAN INC.にて事業継続; 愛発科真空設備（上海）有限公司を設立 |
| 2014年12月 |
アルバック理工株式会社（現アドバンス理工株式会社）の全株式を株式会社チノーへ譲渡 |
| 2014年12月 |
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| 2015年01月 |
アルバックエンジニアリング株式会社を解散 |
| 2015年01月 |
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| 2015年04月 |
Robert Bosch GmbHとMEMS用 PZT圧電素子デバイスの共同開発で基本合意 |
| 2015年07月 |
未来技術研究所を設立 |
| 2015年07月 |
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| 2016年12月 |
沈陽中北真空技術有限公司が保有する愛発科中北真空（沈陽）有限公司（現愛発科真空技術（沈陽）有限公司）の株式（25％）を取得し、100%子会社化 |
| 2016年12月 |
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| 2016年12月 |
沈陽中北真空技術有限公司の株式（25％）を取得し、愛発科中北真空技術有限公司を完全子会社化 |
| 2017年09月 |
100％子会社化に伴い、愛発科中北真空（沈陽）有限公司を愛発科真空技術（沈陽）有限公司に商号変更 |
| 2017年09月 |
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| 2017年09月 |
愛発科中北真空技術有限公司を愛発科真空技術（沈陽）有限公司に商号変更 |
| 2018年07月 |
中国にフラットパネルディスプレイ用マスクブランクス事業の生産、販売を目的とした愛発科成膜技術（合肥）有限公司を設立 |
| 2018年07月 |
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| 2018年07月 |
中国に愛発科成膜技術（合肥）有限公司を設立 |
| 2018年10月 |
寧波愛発科真空技術有限公司が第三者割当増資を実施 |
| 2018年10月 |
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| 2018年11月 |
大阪大学内にアルバック未来技術協働研究所を開設 |
| 2018年11月 |
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| 2019年01月 |
日本リライアンス株式会社を株式会社ＲＥＪに商号変更 |
| 2019年01月 |
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| 2019年01月 |
日本リライアンス株式会社を株式会社REJに商号変更 |
| 2020年04月 |
技術開発部、半導体電子技術研究所、未来技術研究所の一部、超材料研究所を統合し、先進技術研究所を設立 |
| 2020年04月 |
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| 2021年05月 |
Pure Surface Technology, Ltd. が ULVAC Materials Korea, Ltd. 、Ulvac Korea Precision, Ltd. 、UF TECH, Ltd. を吸収合併 |
| 2021年05月 |
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| 2021年05月 |
Pure Surface Technology, Ltd.がULVAC Materials Korea, Ltd.、Ulvac Korea Precision, Ltd.、UF TECH, Ltd.を吸収合併 |
| 2021年07月 |
アルバックヒューマンリレーションズ株式会社の全株式を株式会社マイスティアへ譲渡 |
| 2021年07月 |
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| 2021年08月 |
中国にリークテスト装置の生産、販売を目的とした愛発科東方検測技術（成都）有限公司を設立 |
| 2021年08月 |
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| 2021年08月 |
中国にリークテスト装置の生産・販売を目的とした愛発科東方検測技術（成都）有限公司を設立 |
| 2021年09月 |
東京工業大学（現東京科学大学）内にアルバック先進技術協働研究拠点を設置 |
| 2021年09月 |
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| 2021年09月 |
東京工業大学内にアルバック先進技術協働研究拠点を設置 |
| 2022年04月 |
東京証券取引所の市場区分見直しにより、東京証券取引所の市場第一部からプライム市場に移行 |
| 2022年04月 |
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| 2022年04月 |
東京証券取引所の市場区分見直しにより、プライム市場に移行 |
| 2022年06月 |
株式会社ＲＥＪの全株式をアイダエンジニアリング株式会社へ譲渡 |
| 2022年06月 |
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| 2022年06月 |
株式会社REJの全株式をアイダエンジニアリング株式会社へ譲渡 |
| 2022年07月 |
当社がアルバック東北株式会社、アルバック九州株式会社を吸収合併 |
| 2022年07月 |
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| 2022年07月 |
アルバック東北株式会社、アルバック九州株式会社を吸収合併 |
| 2023年11月 |
中国に表面分析装置の販売、カスタマーサポートを目的とした愛発科費恩斯（南京）儀器有限公司を設立 |
| 2023年11月 |
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| 2023年11月 |
中国に表面分析装置の販売・カスタマーサポートを目的とした愛発科費恩斯（南京）儀器有限公司を設立 |
| 2024年05月 |
韓国に製品・技術開発の加速、コラボレーションと技術サポートの強化を目的とした Technology Center PYEONGTAEK を新設 |
| 2024年05月 |
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| 2024年05月 |
韓国に製品・技術開発の加速、コラボレーションと技術サポートの強化を目的としたTechnology Center PYEONGTAEKを新設 |
| 2025年07月 |
アルバックテクノ株式会社が当社の完全子会社であるタイゴールド株式会社を吸収合併 |
| 2025年07月 |
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